SXN 系列軟 X 射線離子發(fā)生器｜高潔凈制程無顆粒 ESD 靜電消除解決方案

發(fā)布日期：2026-08-17      瀏覽次數(shù)：131

品牌：日本 Motoyama（本山）SXN 系列軟 X 射線靜電消除離子發(fā)生器，屬于光電離式除靜電設(shè)備，面向超高潔凈無塵室，用于半導(dǎo)體、顯示面板精密制程 ESD 防護(hù)モトヤマ。


SXN系列整機(jī)

照射頭除靜電示意

一、工作原理

利用軟 X 射線管發(fā)射低能軟 X 射線，直接照射空氣，使空氣分子發(fā)生光電離，同步生成等量正、負(fù)離子；正負(fù)離子中和物體表面靜電，實現(xiàn)靜電消除。

• 不需要壓縮空氣、風(fēng)扇吹氣；離子直接在被除靜電物體周邊生成，無氣流擾動產(chǎn)品。

• 區(qū)別傳統(tǒng)電暈放電離子風(fēng)機(jī)：無放電針、無高壓火花、不產(chǎn)生金屬粉塵、零臭氧。

二、三款型號硬件配置 & 核心參數(shù)對比モトヤマ

表格

項目	SXN?10V	SXN?102V	SXN?104V
控制器	SXC?10T	SXC?102T	SXC?104T
照射頭	SXH?10V ×1 臺	SXH?10V ×2 臺	SXH?10V ×4 臺
輸入電源	AC100?240V 50/60Hz	AC100?240V 50/60Hz	AC100?240V 50/60Hz
整機(jī)功耗	23W	40W	50W
單照射頭重量	0.29kg	0.29kg	0.29kg
控制器重量	0.52kg	1.14kg	1.64kg
冷卻方式	自然冷卻	自然冷卻	自然冷卻
離子發(fā)生方式	軟 X 射線照射	軟 X 射線照射	軟 X 射線照射

說明：三個型號照射頭本體一致，差異僅為控制器可驅(qū)動照射頭數(shù)量；單頭照射角度 150°，可多照射頭組合覆蓋大面積工位。

三、產(chǎn)品核心特性

1. 離子平衡 ±0V

   軟 X 射線光電離天然生成等量正負(fù)離子，不會出現(xiàn)傳統(tǒng)電暈機(jī)的離子漂移、反向充電損傷器件，對高靈敏芯片、OLED 薄膜友好。

2. 超高潔凈，無二次污染

   無放電電極，不會析出金屬微粒；無臭氧生成，適配 Class1 級無塵室，杜絕顆粒吸附造成的產(chǎn)品不良。

3. 無氣流干擾

   不依靠風(fēng)機(jī) / 壓縮空氣輸送離子，不會吹動超薄薄膜、晶圓、薄片工件，適合真空腔體、小型機(jī)臺內(nèi)部狹小空間安裝。

4. 高速除靜電

   ±1000V 衰減至 ±100V，近距離 0.5s 即可完成中和；距離增加除靜電時間隨之變長，最大有效工作距離約 1400mm。

5. 低維護(hù)設(shè)計

   無電極清潔、無針體更換；僅軟 X 射線管有使用壽命，設(shè)備自帶計時，壽命臨近自動報警提示更換 X 射線管，具備報警信號外部輸出接口，可對接產(chǎn)線 PLCモトヤマ。

6. 可在惰性氣體環(huán)境工作

   氮?dú)狻鍤夥諊惑w內(nèi)部同樣可實現(xiàn)除靜電，適配半導(dǎo)體腔體工藝。

四、型號選型分析

1. SXN?10V（單頭）

   適合單點、小范圍工位：晶圓載臺、探針臺、小型模組組裝、機(jī)臺內(nèi)部狹小腔室；單點局部除靜電，安裝靈活，體積小巧。

2. SXN?102V（雙頭）

   適合中等面積區(qū)域：基板搬運(yùn)、中小型 OLED 玻璃、物料傳送軌道；雙照射頭可并排 / 錯位布置，擴(kuò)大除靜電覆蓋范圍。

3. SXN?104V（四頭）

   適合大面積產(chǎn)線：大尺寸 LCD/OLED 基板、多工位同步除靜電；一臺控制器集中管控 4 個照射頭，減少控制器數(shù)量，降低布線與設(shè)備占用空間。

選型關(guān)鍵點：照射頭性能一樣，優(yōu)先看需要覆蓋的除靜電區(qū)域面積；可以單控制器多頭部署，簡化產(chǎn)線控制。

五、主要應(yīng)用領(lǐng)域

1. 半導(dǎo)體制造：晶圓光刻、蝕刻、離子注入、封裝測試，防止 ESD 擊穿芯片，避免微粒吸附晶圓表面造成缺陷濱松光子學(xué)...。

2. 顯示行業(yè) LCD/OLED：玻璃基板搬運(yùn)、偏光片貼合、柔性膜加工，薄膜不會被氣流擾動，消除靜電吸附灰塵造成亮點不良。

3. 精密電子：光學(xué)膜、FPC、PCB、傳感器組件生產(chǎn)。

4. 特殊腔體環(huán)境：氮?dú)庵脫Q腔、小型真空腔體內(nèi)部靜電消除。

六、優(yōu)勢與短板分析

?優(yōu)勢

1. 潔凈等級遠(yuǎn)高于電暈放電離子設(shè)備，零顆粒、零臭氧；

2. 離子平衡穩(wěn)定，幾乎無反向充電風(fēng)險；

3. 無氣流擾動，超薄 / 輕質(zhì)工件制程不可替代；

4. 維護(hù)量極低，不用頻繁清洗電極；

5. 支持惰性氣體腔體內(nèi)部使用。

??短板與使用限制

1. 軟 X 射線輻射風(fēng)險：設(shè)備自帶屏蔽，但需要遵守輻射安全規(guī)范，設(shè)備外殼不可隨意拆除，人員不能長時間直接暴露照射窗口；需要做設(shè)備防護(hù)評估。

2. X 射線管屬于消耗件，達(dá)到壽命周期必須更換，存在耗材成本。

3. 除靜電效率隨距離衰減明顯，距離越遠(yuǎn)中和速度下降，不能無限拉大工作距離。

4. 設(shè)備采購成本高于普通電暈離子風(fēng)機(jī)。

七、和傳統(tǒng)電暈式離子發(fā)生器對比

表格

對比項	SXN 系列軟 X 射線離子發(fā)生器	普通電暈離子風(fēng)機(jī) / 離子棒
離子產(chǎn)生	軟 X 射線光電離	高壓放電電離空氣
臭氧	0ppm	產(chǎn)生臭氧
顆粒污染	無，無電極析出	放電針氧化析出金屬顆粒
離子平衡	固有 ±0V，長期穩(wěn)定	隨電極老化漂移，需定期校準(zhǔn)
氣流影響	無，不需要吹風(fēng)	依靠氣流輸送離子，會吹動薄膜工件
維護(hù)	僅定期更換 X 射線管	每周清潔、定期更換放電針
適用潔凈等級	Class1 無塵室	Class1000 及以上

八、使用注意事項

1. 照射窗口不可遮擋，遮擋會大幅降低除靜電效果；

2. 嚴(yán)格控制照射距離，根據(jù)產(chǎn)品需求布局照射頭，不要超距離使用；

3. 不可拆除設(shè)備屏蔽殼體，安裝位置避開人員長期停留區(qū)域；

4. 利用報警輸出接入產(chǎn)線，X 射線管壽命到期及時更換，防止除靜電失效。