半導(dǎo)體超純水保安過濾套裝，F(xiàn)TECH 濾芯濾殼適配性與性能介紹

發(fā)布日期：2026-08-05      瀏覽次數(shù)：193

日本 FTECH（フィルテック），日本精密折疊濾芯、濾殼專業(yè)廠商，主打半導(dǎo)體高純藥液、超純水、精細(xì)化工、電子化學(xué)品精密過濾，全部濾芯在無(wú)塵車間成型、熱熔粘接無(wú)膠水析出、出廠 100% 泡點(diǎn) / 完整性檢測(cè)，適配高潔凈度工藝工況。
FTECH全系濾芯濾殼總成

FNGR濾芯+FSSA濾殼裝配圖
 

一、FNGR-005-18EK、FNGR-010-18EK 折疊式精密濾芯解析

1. 型號(hào)分段釋義（FTECH 命名規(guī)則）

型號(hào)分段	FNGR	005/010	18	EK
定義	折疊濾芯基礎(chǔ)系列	過濾精度：0.5μm / 1.0μm	濾芯長(zhǎng)度 18 英寸	端部密封結(jié)構(gòu)：222 翅片型 O 型圈（適配 FSSA 濾殼標(biāo)準(zhǔn)接口）

核心結(jié)論：

• FNGR-005-18EK：18 英寸折疊濾芯，絕對(duì)過濾精度0.5μm，222 翅片端頭密封

• FNGR-010-18EK：18 英寸折疊濾芯，絕對(duì)過濾精度1.0μm，222 翅片端頭密封

2. 核心結(jié)構(gòu)與材質(zhì)（設(shè)計(jì)）

1. 濾材主體：梯度層聚丙烯（PP）折疊濾材，熱熔熱封成型，無(wú)粘接劑，杜絕膠水溶出、纖維脫落，適配半導(dǎo)體、光刻膠、超純水等高純度流體過濾。

2. 梯度孔隙結(jié)構(gòu)：外層大孔隙預(yù)截留雜質(zhì)，內(nèi)層精密篩分，納污容量提升 40%，壓差爬升慢、使用壽命更長(zhǎng)。

3. 骨架結(jié)構(gòu)：內(nèi)外聚丙烯支撐籠，耐壓抗形變，可承受正向 / 小幅反向沖洗。

4. 端頭密封 EK：222 凸翅 O 型圈密封，和 FSSA 濾殼內(nèi)腔刀口精準(zhǔn)咬合，無(wú)側(cè)漏旁路，保障標(biāo)稱過濾精度。

5. 外形尺寸：外徑 83mm（FTECH 大流量款，對(duì)比 70mm 濾芯過濾面積 + 150%），總長(zhǎng) 18 英寸，匹配 FSSA-11N0A50 單芯濾殼安裝腔。

3. 關(guān)鍵性能參數(shù)（原廠標(biāo)稱）

• 過濾精度：FNGR005=0.5μm（絕對(duì)精度）、FNGR010=1.0μm（絕對(duì)精度）

• 最高工作溫度：80℃（PP 材質(zhì)）

• 最大工作壓力：0.4MPa（正向），允許 0.2MPa 反向沖洗

• 適配流體：超純水、IPA 異丙醇、光刻配套藥液、酸堿蝕刻液、清洗劑、純水制程

• 潔凈等級(jí)：無(wú)塵室生產(chǎn)，可直接用于 UPW 超純水終端、半導(dǎo)體濕制程前道過濾

4. 兩款濾芯定位差異 & 選型邏輯

1. FNGR-005-18EK（0.5μm）

    

   定位：終端精密終濾

    

   用于超純水終端、化學(xué)品精濾、光刻藥水末端保護(hù)、閥門 / 噴嘴前置防護(hù)，攔截細(xì)微膠體、樹脂顆粒、研磨碎屑，保護(hù)后端精密設(shè)備與晶圓良率。
2. FNGR-010-18EK（1.0μm）

    

   定位：前置保安預(yù)濾

    

   作為粗濾緩沖，攔截大顆粒雜質(zhì)、管路鐵銹、絮凝物，保護(hù)后端 0.5μm 精密濾芯，降低高品質(zhì)濾芯更換頻次，整體過濾系統(tǒng)運(yùn)維成本下降。

5. 產(chǎn)品核心優(yōu)勢(shì)

• 低析出：全熱熔結(jié)構(gòu)，滿足半導(dǎo)體、制藥低 TOC、低離子析出要求；

• 大通量：83mm 大直徑褶皺結(jié)構(gòu)，同等壓差下流量顯著優(yōu)于普通熔噴濾芯；

• 完整性可控：出廠逐支泡點(diǎn)測(cè)試，精度一致性穩(wěn)定，適合工藝連續(xù)性生產(chǎn)；

• 兼容通用性：222 端頭可直接替換 Pall、3M、日本無(wú)機(jī)同規(guī)格折疊濾芯。

二、FSSA-11N0A50 過濾器外殼（濾殼）解析

1. 型號(hào)拆解（FTECH 濾殼命名規(guī)則）

FSSA：?jiǎn)涡玖⑹讲讳P鋼濾殼系列
 
11：適配濾芯長(zhǎng)度規(guī)格（對(duì)應(yīng) 18 英寸濾芯安裝位）
 
N：接口形式（NPT 內(nèi)螺紋進(jìn)出口）
 
0A：腔體結(jié)構(gòu)（標(biāo)準(zhǔn)單芯直立腔體）
 
50：公稱進(jìn)出口口徑 50A（2 寸管路接口）

2. 結(jié)構(gòu)材質(zhì)與工藝

1. 主體材質(zhì)：SUS316L 不銹鋼，內(nèi)腔電解拋光（Ra≤0.8μm），無(wú)1死角、易 CIP 在位清洗，耐酸堿腐蝕，適配電子化學(xué)品腐蝕性工況。

2. 密封配置：頂部翻蓋 V 型卡箍快開結(jié)構(gòu)，配備 EPDM 標(biāo)準(zhǔn)密封圈，可選 FKM/Viton 氟橡膠適配強(qiáng)溶劑。

3. 功能接口：頂部排氣閥、底部排污閥、側(cè)壁壓力表取壓口，便于排氣、排污、壓差監(jiān)測(cè)，判斷濾芯堵塞狀態(tài)。

4. 安裝適配：內(nèi)腔刀口密封座，精準(zhǔn)匹配 FNGR-EK 系列 222 翅片濾芯，濾芯豎直吊裝安裝，拆裝僅需松開頂部卡箍，維護(hù)便捷。

FSSA濾殼內(nèi)部密封腔結(jié)構(gòu)
 

3. 工況額定參數(shù)

• 設(shè)計(jì)壓力：1.0MPa，常規(guī)使用 0.3~0.6MPa

• 使用溫度：-10℃~90℃

• 適配濾芯：?jiǎn)沃?18 英寸 83mm 外徑 222 端頭折疊濾芯（即 FNGR 兩款標(biāo)配濾芯）

• 連接方式：進(jìn)出口 2 寸 NPT 螺紋，可轉(zhuǎn)法蘭、衛(wèi)生級(jí)卡盤

• 適用場(chǎng)景：?jiǎn)螜C(jī)獨(dú)立過濾支路、設(shè)備端機(jī)側(cè)過濾、小型產(chǎn)線過濾單元

4. 濾殼產(chǎn)品亮點(diǎn)

1. 潔凈腔體設(shè)計(jì)：電解拋光內(nèi)壁無(wú)殘留死角，藥液無(wú)滯留，適合高純化學(xué)品連續(xù)生產(chǎn)；

2. 快開維護(hù)：V 型抱箍無(wú)需工具快速開蓋，濾芯更換時(shí)長(zhǎng)縮短 60%；

3. 集成監(jiān)測(cè)點(diǎn)位：預(yù)留壓力表接口，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)濾芯前后壓差，實(shí)現(xiàn)定壓差更換濾芯，避免過度更換或失效運(yùn)行；

4. 耐化通用性：316L 殼體兼容酸、堿、醇類、酮類絕大多數(shù)電子制程溶劑。

三、整套總成（濾芯 + 濾殼）組合應(yīng)用方案

1. 標(biāo)準(zhǔn)成套配置

前置預(yù)濾：FSSA-11N0A50 + FNGR-010-18EK（1μm）
 
后端精濾：FSSA-11N0A50 + FNGR-005-18EK（0.5μm）
 
兩級(jí)串聯(lián)構(gòu)成完整保安過濾單元。

2. 主流應(yīng)用場(chǎng)景

1. 半導(dǎo)體晶圓濕制程：刻蝕液、剝離液、顯影液、IPA 清洗液循環(huán)過濾；

2. 超純水 UPW 系統(tǒng)：RO 后端、EDI 終端拋光前保安過濾；

3. 面板顯示行業(yè)：光刻膠、顯影液、剝離劑循環(huán)過濾；

4. 精密電子清洗：工業(yè)清洗劑、去離子水終端過濾；

5. 精細(xì)化工 / 醫(yī)藥：高純?nèi)軇⒃纤幦芤壕苓^濾。

3. 成套使用價(jià)值

1. 原廠濾芯 + 濾殼匹配，密封零旁路，過濾精度 100% 發(fā)揮；

2. 梯度過濾延長(zhǎng)精密濾芯壽命，降低耗材采購(gòu)成本；

3. 不銹鋼濾殼可長(zhǎng)期重復(fù)使用，僅定期更換內(nèi)部濾芯，固定資產(chǎn)投入性價(jià)比高；

4. 潔凈構(gòu)造適配無(wú)塵車間嚴(yán)苛生產(chǎn)環(huán)境，無(wú)二次污染風(fēng)險(xiǎn)。

四、競(jìng)品對(duì)標(biāo)與替換說明

1. 濾芯對(duì)標(biāo)：Pall Profile II、3M Betapure、日本無(wú)機(jī) NIPPON MUKI 折疊濾芯，同精度、同尺寸可直接互換；

2. 濾殼對(duì)標(biāo)：Pall 單芯不銹鋼濾殼、Entegris 精密濾殼，F(xiàn)TECH 整套總成價(jià)格更具優(yōu)勢(shì)，日系交期穩(wěn)定；

3. 替換注意：如需替換其他品牌濾芯，必須選用 222 翅片端頭 18 英寸 83mm 外徑折疊濾芯，保證密封適配。

五、總結(jié)

FNGR-005-18EK（0.5μm 精濾）、FNGR-010-18EK（1.0μm 預(yù)濾）為 FTECH 經(jīng)典大流量聚丙烯折疊濾芯，依托熱熔無(wú)析出、大納污量特性適配高品質(zhì)潔凈流體過濾；FSSA-11N0A50 是專屬配套 316L 不銹鋼單芯濾殼，快開、易清洗、耐壓耐化。二者成套是半導(dǎo)體、電子化學(xué)品、超純水工藝成熟的緊湊型精密過濾解決方案，兼顧過濾穩(wěn)定性、運(yùn)維便捷性與長(zhǎng)期使用成本優(yōu)勢(shì)。