日本NGK半導體行業用陶瓷加熱器產品介紹

發布日期：2025-05-12      瀏覽次數：1138

它使用氮化鋁（ALN），具有出色的導熱率，并通過將其與電阻加熱元件一起燒結，可以達到好的熱均勻性，并且顯著降低了金屬污染的雜質。

特征

高熱均勻性和廣泛的溫度支持

它使用ALN陶瓷，具有出色的導熱率，可實現高溫均勻性。

它也可以在溫度范圍（最高800°C）的范圍內使用。




袖珍的

除了電阻加熱元件外，散裝的RF電極還可以整體燒結到陶瓷中。

您也可以將陶瓷軸直接粘合到陶瓷板上。




耐腐蝕性

它還在鹵素氣體和氧化氣氛中表現出好的耐用性。

與晶圓吸附兼容

陶瓷板中的RF電極可用作靜電Chuck電極，用于晶片吸附。

功能



規格

尺寸	與200mm，300mm和450mm晶片兼容
電源	100-200V x 15-50a
電極材料	將Ni Rod（電纜）連接到端子（低接頭，螺釘固定）
加熱器材料	Aln

Aln的材料特性

[典型價值]

		氮化鋁
		HA-12	HA-37/38	HA-50/51
純度	[％]	95	99	99
密度	[g/cc]	3.3	3.3	3.3
音量電阻率	[ωCM]（RT）	> 1E+15	1E+8?+13	> 1E+15
導熱率	[W/MK]（RT）	170	100	80
熱擴展系統的數量	（RT）	5.7（1000℃）	5.6（1000℃）	5.6（1000℃）
力量	[MPA]（RT）	> 300	> 300	> 250
年輕的速度	[GPA]（RT）	300	300	300
介電常數	（13.56MHz，RT）	8.6	8.8	8.6

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靜電Chuck

它表現出高強度，高熱電導率和高熱沖擊性。 Nippon Gaishi的音量阻力控制技術可以容納廣泛的溫度范圍。

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各個部分

我們使用先進的制造技術提供各種零件形狀，包括氮化鋁和氧化鋁陶瓷。

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